檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "破裂韌性".ckeyword (精準)
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本文旨在研究與探討陶瓷材料是否能夠經由材料改質、製程改變,來影響破裂韌性值的表現,並進一步評估其能否擁有良好的加工成型性,製造出可用於半導體檢測工業中最為重要的元件探針卡(Probe card)內部…
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現今薄膜機械性質分析,多著重於硬度、彈性系數和附著性質等,而薄膜在製作或是使用過程中若產生破裂,會嚴重影響薄膜性能,因此破裂韌性(fracture toughness)亦為薄膜相當重要的機械性質之一…
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氮化鉻薄膜擁有良好的機械性質與抗氧化能力,但硬度略低於其他硬膜,實驗將鋯與矽同時加入氮化鉻薄膜中以期改善顯微結構與機械性質。研究使用反應式雙極非對稱脈衝直流磁控濺鍍法製備含鋯量自0.49 at.%到…