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  • 檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "氮化鋯".ckeyword (精準)


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    1
    不同表面鍍膜的三體刮磨行為研究
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 黃瑞智   指導教授： 曾垂拱
    • 本文之目的在於利用自行研發的刮磨磨耗機台，探討固態原料滑動的速度、壓力與溫度對試片表面之磨耗行為的影響。固態原料使用硬度Hv 1250之矽砂顆粒，試片包含S50C、硬化過之S50C、硬化過之高速鋼S…
    • 點閱：264  下載：0 
    • 全文公開日期 2010/12/02 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

    2
    氮氣流量控制對氮化鋯與氮化鋁薄膜性質之研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生： Wang-Sung Yen   指導教授： 周振嘉
    • 本研究目的在於設計一陶瓷膜取代LIGA製程中所使用的高分子光阻，實驗初期以薄膜電阻率為首要考量條件，篩選現有的商用陶瓷鍍層，並選用薄膜電阻率最高的氮氧化鈦薄膜與次高的碳氮化鉻薄膜作為取代高分子光阻之…
    • 點閱：231  下載：5 
    • 全文公開日期 2020/08/19 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

    3
    以陰極電弧鍍膜系統鍍製氮化鉻/氮化鋯奈米多層薄膜之研究
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生： 陳曉帆   指導教授： 王朝正
    • 本研究以陰極電弧鍍膜系統於矽晶片與碳化鎢基材上鍍製共五種氮化鉻/氮化鋯奈米多層薄膜，藉著改變試片在真空腔體內的轉速以控制薄膜的雙層週期厚度。本研究利用低掠角X光繞射儀進行薄膜層之晶相分析，以原子力顯…
    • 點閱：208  下載：2 

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    反應性濺鍍氮化鋯薄膜及其作為銅導線之阻障層的失效機制研究暨以鎳電極系統作為生物感測器
    • 化學工程系 /99/ 碩士
    • 研究生： 古聖偉   指導教授： 李嘉平
    • 本論文分別就兩個主題進行研究討論：一為反應性濺鍍氮化鋯薄膜及其作為銅導線之阻障之研究，另一為以鎳電極系統作為生物感測器。 有關於擴散阻障層的部分，VLSL技術的發展，常利用銅作為內接線材料，但在低溫…
    • 點閱：943  下載：5 
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