檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "林世聰".ccommittee (精準)
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本研究提出一套創新的雙自由度外差式雷射散斑干涉儀，此套干涉儀系統結合外差和散斑干涉術之優點，具備高的靈敏度和解析度及大量測範圍等量測性能。 此套雙自由度外差式雷射散斑干涉儀藉由光柵來實踐對稱式的光路…
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本研究成功開發一套創新的全域式晶圓翹曲量測系統，用以即時偵測待測晶圓的翹曲值及其表面形貌。此套晶圓翹曲量測技術以「疊紋」為技術核心，結合光柵自成像效應、瞬時相移法及四步移相法等設計概念進行開發，使系…
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大地工程如壓力隧道、地下水庫、高岩覆之節理補強灌漿；工程地質如火成岩脈(dike)形成機理；能、資源之地下或經濟開發鑽採、放射廢料地下最終貯存等重要之大地課題，皆與固態岩材受內在液驅壓力引致開裂過程…