檢索結果：共7筆資料 檢索策略： "數位微影".ckeyword (精準)
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在數位微影製程中，像差對半導體和微機電系統製造品質的影響至關重要， 因此，有效地校正由數位微影系統產生的畸變是提升製程良率的重大研究議題。 在本篇研究中，我們深入探討數位微影系統的畸變補償問題，並提…
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在線路圖案的定義過程，無論是使用什麼型態的曝光系統，對準量測技術皆為關鍵的製程步驟，在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率，進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中，發現使用數位…
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以光點陣列掃描 (Point Array Scanning) 成像的數位微影系統，使用數位微反射鏡裝置(Digital Micromirror Device, DMD)作為產生光點陣列的元件，透過控…
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現今印刷電路板(Printed Circuit Board, PCB)產業蓬勃發展，生產逐漸精密化且線寬越來越小，為了提升印刷電路板製程的品質，必須要進行有效率的檢測。傳統是以人工目視辨別印刷電路板…
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微影製程是不斷發展的半導體產業中非常重要技術之一，這項技術利用光學投影將線路結構曝光於晶圓上，製造出微米甚至是奈米等級尺寸之電路。相對於傳統的微影製程，數位微影製程不再需要使用光罩，而是透過各種光學…
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受惠於第五代行動通訊技術(5th generation mobile networks,5G)的快速發展，帶動印刷電路板(Printed Circuit Board, PCB)產品中的軟板(Flex…
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微影製程是半導體產業不斷前進的重要技術，透過將微縮線路用光學投影在晶圓上，將特徵尺寸不斷縮小，而數位微影製程捨棄了對光罩的使用，能透過如數位微反射鏡(Digital Micromirror Devi…