簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "散射量測".ckeyword (精準)


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    基於有限影像集量測一維週期性特徵尺寸
    • 自動化及控制研究所 /111/ 碩士
    • 研究生： 林耘頡   指導教授： 郭鴻飛
    • 半導體製程技術的進步促使元件結構的微縮，除了對製程技術迎來更大的挑戰，同時也需要更有效率的量測方法來驗證製程結果。關鍵尺寸(Critical dimension)量測技術是驗證製程標準的關鍵步驟。傳…
    • 點閱：209  下載：4 

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    有限時域差分法解析高介電層金屬閘製程疊層光柵之繞射效率
    • 自動化及控制研究所 /100/ 碩士
    • 研究生： 陳盈佑   指導教授： 郭鴻飛
    • 在半導體奈米量測自動化設備中，光學散射量測儀被視為取代傳統電子顯微鏡擷取微影圖案關鍵尺寸的重要技術，光學散射量測法的優點包含：量測速度快約為現有電子顯微鏡的三倍，可重複性量測同一微影圖案之關鍵尺寸，…
    • 點閱：364  下載：6 
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