檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "多層薄膜".ckeyword (精準)
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本研究使用高功率脈衝磁控濺射鍍膜系統，以Al4Cr2NbSiTi2高熵合金靶和TiB2靶在矽晶片與304、420不銹鋼表面鍍製六種不同雙層週期厚度的高熵合金氮化物多層薄膜，並使用場發射掃描電子顯微鏡…
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膽管腫瘤所引起的嚴重問題之一為膽道阻塞。目前膽道阻塞的主要治療方式之一為膽道支架的置入。然而膽道支架在置入後六至八個月則可能再發生阻塞現象。有鑑於此，本研究探討利用可降解多層覆膜改善此問題的可能性。…
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本論文利用連續式電漿，以層層交錯的方式沉積丙烯酸與苯胺兩種分別具有羧基與胺基之前驅物，製備含胺基與羧基之多層薄膜，於矽晶圓與聚苯乙烯兩種不同的基材，並利用物理化學方法探討電漿功率、沉積時間等電漿參數…
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近年來，微奈米科技的時代來臨，使自然科學和工程技術皆朝向微型化的趨勢發展，但卻面臨了新的難題，由於元件的尺寸愈變愈小，使得單位體積的發熱量越來越大，其接觸面瞬間摩擦的高熱通密度將導致元件失效，因此如…
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本研究以陰極電弧鍍膜系統於矽晶片與碳化鎢基材上鍍製共五種氮化鉻/氮化鋯奈米多層薄膜，藉著改變試片在真空腔體內的轉速以控制薄膜的雙層週期厚度。本研究利用低掠角X光繞射儀進行薄膜層之晶相分析，以原子力顯…