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  • 檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "光學鄰近修正".ckeyword (精準)


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    1
    應用基因演算法於含次級解析輔助特徵圖案之光學鄰近修正技術
    • 自動化及控制研究所 /106/ 碩士
    • 研究生： 黃鈺儒   指導教授： 郭鴻飛
    • 由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難，無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產，因此吸引許多研究者尋找改善方案，其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…
    • 點閱：940  下載：23 

    2
    基於深度學習架構之光學鄰近修正與次級解析輔助特徵圖案擺置
    • 電機工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 余柏毅   指導教授： 方劭云
    • 隨著現代積體電路的複雜度不斷增加與製程節點的演進，電路可製造性在現代微影(Lithography)製程中正遭遇許多困難。次級解析輔助特徵圖案(SRAF) 擺置與光學鄰近修正(OPC)等重要的解析度增…
    • 點閱：240  下載：6 

    3
    結合蟻群演算法與神經網路演算法所優化之光源模態以強化微影成像效能
    • 自動化及控制研究所 /105/ 博士
    • 研究生： 李國華   指導教授： 郭鴻飛
    • 幾十年來半導體工業仰賴微影光學將電路圖案之設計轉印至晶圓基板上，隨著電路設計圖樣日益縮小，目前已逼近至微影製程的光學極限，解析度增強技術(resolution enhancement techniq…
    • 點閱：1224  下載：14 

    4
    動態隨機存取記憶體元件圖案之光學鄰近修正演算程序開發
    • 自動化及控制研究所 /108/ 碩士
    • 研究生： 甘偉銘   指導教授： 郭鴻飛
    • 在各國因應物聯網、大數據、高效能運算等的市場開發，仰賴大量DRAM 元件所需要大量計算及記憶體空間，隨著對DRAM 的需求增加和引入升級產品的需求，DRAM 市場將在未來幾年見證增長，全球市場競爭激…
    • 點閱：440  下載：2 
    • 全文公開日期 2021/01/17 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/01/17 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/01/17 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    機器學習結合光罩圖案程序開發
    • 自動化及控制研究所 /108/ 碩士
    • 研究生： 陳賜平   指導教授： 郭鴻飛
    • 由於極紫外光微影系統技術尚未廣泛應用，目前生產線上仍大部分為ArF-193nm浸潤式微影系統，因此有許多研究者尋找此系統優化方法，其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應的最佳光源模…
    • 點閱：280  下載：11 
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