檢索結果:共10筆資料 檢索策略: "光學尺".ckeyword (精準)
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光學尺可分為穿透型與反射型兩種型式。編碼器使用發光二極體(LED)作為光源,並使用光偵測器收集訊號,將刻有光柵的線性光學尺置於LED與偵測器之間,當線性光學尺移動時,偵測器可以讀到光強訊號,輸出弦波…
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本研究以光柵干涉術作為主要的量測基礎,提出了一套新式的微型化雙繞射共路徑式線性光學尺,其系統架構簡單,架設及校正容易,可用以進行精密的大行程位移量測。我們利用自行設計的稜鏡配合反射式光柵建構出「共路…
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本研究提出一套創新的四自由度共路徑式線性光學尺,具備同時量測面內或面外的位移及旋轉角量測能力。此套線性光學尺結合干涉術、光柵干涉術、分光技術及共路徑式光路等技術優勢進行系統開發,具備高靈敏度、高穩定…
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光柵刻痕(grating)是精密量測工具\ -\ 光學尺(optical encoder)的關鍵零件,由一透明或反射的材料上,定間距刻上極細微之固定刻痕,但光柵的刻痕因為搭配使用光源之波長,為微米等…
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本研究提出一套創新的六自由度聚焦式雷射光學尺量測技術,其系統架構簡單,架設與校正容易,可用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套量測技術的開發主要是以「光柵干涉術」為技術核心,輔以外差調制技術及自行設計…
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本研究提出一套「循環式線性光學尺(CLE)」,此套光學尺是由雷射二極體、光柵(G)、側向位移分光鏡(LBS)、偏極化分光鏡(PBS)、反射鏡(M)、偏振片(P)及IC光偵測器所組成,具光路架構簡單、…
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本研究旨在開發一長行程閉迴路奈米定位平台系統,此平台使用雙框架兩軸獨立驅動單移動台機構,其中平台底座由空氣軸承支撐,使平台與花崗岩基座呈現非接觸狀態,驅動方式則由ANCA 5DX驅動器與PC-Bas…
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有鑑於目前市售光學尺之製作方法是以曝光顯影或雷射直寫進行生產,但考慮到高精度曝光顯影光罩及裝置價格昂貴,且不適合製作長行程及反射式光學尺,而雷射直寫刻劃光柵結構的速度較慢,無法快速生產等因素,本研究…
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺,用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發,使系統具…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統,用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…