檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "位移感測".ckeyword (精準)
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本論文提出並架設一個基於光纖法布立-佩羅干涉儀的高解析度及靈敏度的位移感測器,其目的為利用法布立-佩羅干涉儀解決奈米等級的精確度量測。此干涉儀腔體由光纖平行校正器與移動的反射鏡面組成,特別設計高效率…
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本研究旨在開發一閉迴路微/奈米定位系統,系統主要元件包含以有限元素分析設計之具位移放大機構之微/奈米定位平台、壓電致動器、電容式位移感測器系統、NI cRIO9074即時控制機盒與FPGA晶片、PC…