檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "伺服定位".ckeyword (精準)
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本文旨在應用CCD 攝影機代替光學尺作為位置感測器，擷取影像經電腦作影像處理與分析後，將位置資訊傳送到使用模糊滑動控制器之智慧型氣壓伺服控制系統，控制氣壓平台定位，發展成為智慧型影像伺服控制系統…
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隨著大尺寸面板的發展，對於玻璃基板升降系統成為一重要課題，因此本文針對7.5代玻璃基板升降系統進行結構分析，利用繪圖軟體SOLIDWORK建立升降系統數值模型，而後用有限元素軟體ANSYS10.0 …
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本文旨在應用氣壓無桿缸與氣壓肌肉致動器之結合，發展單軸長行程微米精度伺服定位平台與控制，大行程以流量伺服閥進行無桿氣壓缸粗定位，小行程由壓力伺服閥控制氣壓肌肉致動器進行較精密之定位補償。本文主要探討…
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本文旨在應用無桿氣壓缸結合壓電致動器，發展XYZ 三軸長行程奈米精度伺服定位平台與控制，大行程由氣壓伺服系統進行粗定位，小行程由壓電致動器作補償。其中X 軸為獨立軸，YZ 兩軸固定在一起，構成龍門型…
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本文第一部分之研究，旨在發展一套高響應、高能源效率的電液泵控伺服系統。傳統的液壓伺服系統中，閥控系統具有高響應之優點，但能源效率較低；而傳統泵控伺服系統雖然具有較高的能源效率，但在響應上卻遠不及閥控…