檢索結果：共5筆資料 檢索策略： "丁定國".ccommittee (精準)
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本研究以三甲基硼(TMB)為摻雜物，使用射頻電漿輔助化學氣相沉積系統(RF-PECVD)於玻璃基材上成長p型非晶碳化矽以及p型微晶矽薄膜，並分析其結構及光電性質，期望能製備出適用於薄膜太陽能電池的p…
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎，分為兩部分：第一部份為成長低介電係數薄膜，實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…
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本研究係用射頻電漿系統沉積氫化非晶矽薄膜，調變製程重要參數如氫氣稀釋比、基材溫度、工作壓力以及電極間距等，藉由傅立葉轉換紅外光光譜儀(FT-IR)以及紫外光/可見光光譜儀(UV-VIS)等分析方法，…
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統，成長矽薄膜摻雜層及非晶矽薄膜太陽能電池，分別以三丁基磷與三甲基硼為摻雜原料，成長n型及p型非晶矽薄膜、p型的非晶矽及p型微晶矽薄膜，並探討其光電性質。 在成長…
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本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜，同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化，並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…