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    以超高頻矽甲烷電漿化學氣相沉積系統製備微晶矽膜之研究
    • 化學工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 陳宗麟 指導教授: 洪儒生
    • 本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜,同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化,並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…
    • 點閱:356下載:0
    • 全文公開日期 2013/08/04 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    以超高頻電漿輔助化學氣相沉積法製備矽晶異質接合太陽電池元件之研究
    • 化學工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 馮詩翰 指導教授: 洪儒生
    • 本研究係以超高頻電漿輔助化學氣相沉積系統(VHF-PECVD)製備本質氫化非晶矽膜層用於鈍化單晶矽基材,研究重點之一為與射頻電漿輔助化學氣相沉積系統(RF-PECVD)製備氫化非晶矽膜層來作比較外,…
    • 點閱:200下載:3
    • 全文公開日期 2016/07/30 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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