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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="閃頻"


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    閃頻疊紋法應用於晶圓翹曲量測之開發
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 張耀中 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究提出一套創新的閃頻式晶圓翹曲量測技術,用以即時偵測有機金屬化學氣象沉積(MOCVD)製程中藍寶石晶圓之翹曲量及其輪廓。此套閃頻式晶圓翹曲量測技術以閃頻法、疊紋橫移理論、數位疊紋法、掃瞄輪廓法及…
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    • 全文公開日期 2020/08/18 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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