檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="絕緣層覆矽"
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本論文參考本實驗室過往設計,針對以絕緣層覆矽基板及標準互補式金氧半製程平台實現的矽光子波導元件進行優化設計,將首先介紹波導的模擬分析方法、不同情形下的模態特性,並逐步展示各式積體化光學元件的設計優化…
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絕緣層上覆矽波導的高折射率差,具有高效率與高品質的特性而且成本低,加上其相容於金屬氧化物半導體標準製程,故常廣泛應用於高速、低功率消耗的光電元件。另外,矽與埋藏氧化層之間的高折射率差,使得元件能縮至…