檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="矽膜"
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準分子雷射常用於重熔矽膜,以製備低溫多晶矽,製程參數的設定,大都是以實驗方式得到。由於電腦科技的進步,模擬鑄件的凝固已被用工業廣為採用。本論文主要目的是以ProCAST模擬矽膜的重熔與凝固,並利用長…
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本論文建構一套能夠即時量測薄膜於準分子雷射照射期間之反射率與穿透率變化之原位(in-situ)線上光學檢測系統(Time-Resolved Optical Reflectivity and Tran…