檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="微針陣列"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究利用接觸式曝光與微透鏡光罩製作微針陣列模仁。當平行紫外光透過微透鏡光罩,使光線在光阻上呈現發散,而製作出微針陣列凸模仁。首先,以幾何光學推導接觸式曝光系統中微透鏡聚焦長度之光路預測公式,並與造…