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本論文針對碳化矽的低溫製備，考慮利用具有低共晶點的金屬矽化物合金作為合成碳化矽的矽來源，利用金屬矽化物合金比起原始組成之金屬有熔點急劇下降的特性，期望在較低的溫度下使其與活性碳反應來生成碳化矽鍵…
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本論文主要以硒化照射程序所影響的缺陷分佈和本質缺陷的相互作用作為探討的議題，針對導入硒化照射程序的特性，開發其照射程序對於缺陷抑制的機制及效果。論文中以螢光光譜解析觀察缺陷抑制的變化，並探討缺陷對於…
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本論文針對碳化矽的低溫製備，考慮利用矽化物合金的低融點特性，期望在較低的溫度下使其與活性碳物種反應來生成碳化矽鍵結。 本研究將採用電子束與熱蒸鍍法共蒸鍍石墨與金矽/鋁矽合金，分別於合金共晶溫度(36…
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本論文乃以發展高效率矽鍺複合晶片太陽能電池製作技術為主題，考量矽晶材料所無法吸收的紅外光波波段，在矽晶之背面串聯鍺晶來吸收此波段能量，最終模式希望製作成的矽晶/鍺晶之異質接合太陽電池，以求達…
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本論文乃以未來世代高效矽晶太陽能電池的技術發展為議題，針對矽 晶以及鍺晶可能製作矽、鍺異質接合，分別以射頻電漿輔助化學氣相沉積法將氫化非晶矽及氫化非晶鍺薄膜沉積於鍺晶及矽晶上，以反射式電子高能…
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本論文主要目的在探討使用矽甲烷為原料的高頻電漿輔助化學氣相沉積輔以不同製程方式來製備氫化非晶矽薄膜於單晶矽晶片上形成異質接合。研究重點在利用高頻電漿並輔以脈衝調變的技術，找出缺陷最少的氫化非晶矽長膜…
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本研究目的在於探討以低壓化學氣相沉積的方式製備具有高光學散射結構的摻鎵氧化鋅薄膜，以及藉由不同之退火模式來提升因低溫成長而不足的薄膜電性，以期用於取代氧化銦錫作為藍光發光二極體的透明導電接觸層。 …
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在本論文中我們使用射極-濺鍍沉積參鎢氧化銦以及氫化氧化銦之透明導電膜，期望能利用該等材質較高的功函數以及光學透過特性應用於矽晶異質接面太陽能電池的製作上，以獲得較佳電池轉換效率之表現。實驗結果顯示，…
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本研究乃針對藍光氮化鎵發光二極體元件的p型氮化鎵透明導電接觸層提出一取代材質及製程，考慮現在工業製程所使用的氧化銦錫薄膜中稀有元素銦的價昂，提案改使用同為透明導電氧化物的摻鎵氧化鋅來取代氧化銦錫。同…
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本研究目的在於利用化學氣相沉積的程序變化模式，尋找在低溫下成長低電阻率且具有光學散射特性之粗糙表面氧化鋅鎵薄膜，最終目標在用來取代氧化銦錫當作為藍光發光二極體的透明導電接觸層。 考慮鎵源先驅…