檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="PMAA" and ckeyword.raw="PMAA"
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本研究分為三個部分,第一部份為微影製程的圖案化轉印,以聚二甲基矽氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)為材料,注入不同圖案化的矽晶圓,加熱使其固化,當聚二甲基矽氧烷從晶圓上移除時…
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本研究分為兩個部分,第一部分為高分子刷製備。包括矽晶片表面親水性處理、合成矽烷類自組裝層、固定聚合起始劑,再藉由原子轉移自由基聚合法(Atom transfer radical polymeriza…