檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="CO2雷射退火" and ckeyword.raw="\u0026nbsp\u003B錳酸鍶鑭"
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本文採用430型不銹鋼(SUS430)取替Pt電極與矽晶片基板,搭配CO2低溫雷射退火製程,以改善傳統爐管之退火中導致元件產生介面擴散與氧化等問題,使得PZT鐵電薄膜與LSMO氧化物電極能成功鍍製於…