檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="輔助電極" and ckeyword.raw="輔助電極"
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本研究之創新為在既有線放電加工製程上建立不同厚度的輔助電極,並於矽晶圓基材上串聯輔助電極並加工,進而分析此試片特徵之加工誘發電流、表面合金化以及表面粗糙度。其中利用全因子實驗方法(Full-fact…
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本研究為使用鋁合金輔助電極於多晶矽工件進行線放電加工,並觀測使用輔助電極時,多晶矽之材料移除率、表面粗糙度、表面合金化之加工表面。實驗前先以焦耳熱模型計算加工時所需之放電能量,並控制操作參數於區間包…