檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="超高真空" and ckeyword.raw="鍺量子點"
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摘要 關鍵詞:奈米結構、鍺量子點、超高真空、選擇性化學氣相沉積、超薄氧化層 本論文乃以鍺甲烷作為原料氣體的超高真空化學氣相沉積法,探討在Si(100)與SiO2/Si(100)基材上以選擇…