檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="表面粗糙度" and ckeyword.raw="高填充率"
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本論文探討利用LIGA 製程來製作微透鏡,有別於一般電鑄後的微 透鏡陣列填充率不高之限制,藉由電鑄來形成高填充率的微透鏡陣列模 仁,進而提供更高的光線收集效率。主要製程步驟為先在矽基材上,利 用黃光…