檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="線上光學檢測" and ckeyword.raw="退火"
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本研究建構一套準分子雷射退火矽膜再結晶特性之線上光學檢 測系統,可以線上即時檢測出非晶矽薄膜於準分子雷射退火期間反射率與穿透率之變異性,進而分析相關物理現象並提出矽膜之相變化機制。藉由線上光學檢測系…