檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="端面處理" and ckeyword.raw="端面處理"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究旨在探討乾式以及濕式蝕刻對於VCSEL共振腔端面的影響。透過兩種商用矽基板磊晶生長的氮化鎵LED晶圓,我們成功研製出了改善共振腔端面粗糙度的方法,使用KOH和UVO製程,成功將共振腔端面的表面…