檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="氧化鋁" and ckeyword.raw="電漿"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
12吋半導體製程中之化學氣相沉積設備反應室內,所需之精密氧化鋁陶瓷,必須具備有高純度、能抵抗電漿環境中的侵蝕性氣體與300mm以上大尺寸物件的特性。所以,胚體成型的技術是一項重要課題,更需要鑽石工具…