檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="摻雜" and ckeyword.raw="電漿輔助化學氣相沉積"
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統,成長矽薄膜摻雜層及非晶矽薄膜太陽能電池,分別以三丁基磷與三甲基硼為摻雜原料,成長n型及p型非晶矽薄膜、p型的非晶矽及p型微晶矽薄膜,並探討其光電性質。 在成長…