檢索結果：共18筆資料 檢索策略： ckeyword.raw="微影製程" and ckeyword.raw="微影製程"
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在記憶體DRAM製造的過程中，透過微影製程技術將設計之光罩轉印至光阻為一項至關重要的技術，但隨著線寬持續微縮，193nm浸潤式微影製程上達到物理極限，必須透過解析度增強技術(Resolution E…
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由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難，無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產，因此吸引許多研究者尋找改善方案，其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…
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本研究為設計一共聚高分子材料以偵測人血中的鼠疫桿菌(Yersinia pestis)，在檢測的同時屏除白細胞的干擾。基材為線／間距比率為1：1.5的圖案化光阻矽晶圓表面聚合高分子，使之呈現線寬為1、…
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本實驗分為兩個部分，第一部份利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸N,N-二甲氨基乙酯(…
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本實驗使用原子轉移自由基聚合法（Atom transfer radical polymerization, ATRP）於圖案化矽晶圓表面進行表面起始聚合（Surface-initiated poly…
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中 文 摘 要 近年來由於晶圓代工產品的多樣性及難以避免的待機時間之影響，所衍生之曝光條件的變動頻繁，因而導致半導體晶圓代工廠之微影製程技術，面臨透鏡加熱效應顯著的困擾，造成0.5μm多晶矽閘層的…
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本研究為設計一嵌段高分子材料以偵測全血中的鼠疫桿菌(Yersinia pestis)，在檢測的同時屏除白血球的干擾。基材為柱/間距比率為1：1.5的透過翻模製備的圖案化聚二甲基矽氧烷(Poly(di…
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由於機器學習在各領域應用的崛起，機器學習已經廣泛的應用在圖像辨識、資料探勘、語音辨識與處理、搜尋引擎、醫學診斷、金融模型設計等，訓練機器學習模型模仿人類的經驗已經成為趨勢，並使用機器學習取代重複性高…
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本實驗利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸 2-(二乙氨基)乙酯(Poly(2-(Di…