檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="微奈米轉印" and ckeyword.raw="微結構"
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熱壓轉印是微奈米轉印技術之一,並可能成為新世代的微奈米結構製造技術。但由於熱壓製程流程包括加熱、加壓與冷卻,造成製程時間過長。熱壓製程還需要突破縮短製程時間才能達到高效能量產的需求。本研究主要以分站…