檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="影像還原" and ckeyword.raw="運動模糊"
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隨著科技的不斷進步,晶圓的尺寸逐漸擴大,並且自動化光學檢測應用也蓬勃發展,這使得晶圓檢測平台的運動控制性面臨更多挑戰。晶圓檢測平台是一套精密複雜的系統,其主要功能是在檢測物體快速移動時,透過拍攝影像…
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近期先進半導體製程已大幅進步,普遍採用整片晶圓檢測,這使得高解析度之影像成為質量控制和缺陷檢測的關鍵。於檢測過程中,提升掃描速度對於檢測效率至關重要,但於速度和圖像精度之間取得平衡是一項嚴峻的挑戰。…