檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="射頻電漿化學氣相沉積" and ckeyword.raw="退火"
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本研究係在以較大面積(20×20 cm2)之射頻電漿輔助化學氣相沉積系統中,通入矽甲烷原料以不同製程條件於單晶矽表面沉積氫化非晶矽形成異質接合結構。研究重點在探究在此一沉積系統中氫化晶矽的鍍…