檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="射頻濺鍍" and ckeyword.raw="自組裝單分子薄膜"
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本論文藉由物理氣相沉積系統(PVD)沉積矽薄膜於自組裝單分子薄膜(SAM)改質後的石英基板,並利用固相結晶法(SPC)使非晶矽薄膜結晶為多晶矽薄膜,最後使用SEM觀察表面型態;Raman光譜、XRD…