檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="奈米鑽石" and ckeyword.raw="矽奈米線"
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本論文探討分為兩部分,第一部分用微波電漿化學氣相系統(MPCVD)成長奈米鑽石薄膜,利用不同製程氣體比例(氬氣、氮氣、甲烷、氫氣)與氧電漿後處理改變薄膜品質;第二部分探討兩種製程之矽奈米線對pH靈敏…
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本論文主要是探討在不同結構上成長奈微米鑽石之場發射特性之影響。本研究中係使用微波電漿化學氣相沉積系統將奈微米鑽石沉積於平面矽、金字塔及矽奈米線/金字塔結構,藉由場發射電子顯微鏡觀察鑽石的表面形態,並…