檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="奈米壓痕儀" and ckeyword.raw="奈米壓痕儀"
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本文探討電子束蒸鍍薄膜之殘留應力,以表面輪廓儀量測薄膜蒸鍍前後的曲率變化,再反算其殘留應力,並以有限元素進行數值模擬。首先以電子束蒸鍍機沉積鈦(Ti)薄膜在矽晶圓表面,鈦(Ti)薄膜於不相同沉積速率…
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據不少文獻指出,硼的添加可有效形成奈米複合結構,現今已不少研究朝奈米複合結構方向發展。本研究中,利用雙靶共濺鍍方式方式鍍製具有不同硼含量之鈦鋯硼氮薄膜,分別為控制鈦及二硼化鋯靶材鍍製富含鈦之鈦鋯硼氮…