簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="奈米壓痕儀" and ckeyword.raw="奈米壓痕儀"


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    薄膜殘留應力量測與數值模擬
    • 機械工程系 /95/ 博士
    • 研究生: 朱桂瑩 指導教授: 趙振綱
    • 本文探討電子束蒸鍍薄膜之殘留應力,以表面輪廓儀量測薄膜蒸鍍前後的曲率變化,再反算其殘留應力,並以有限元素進行數值模擬。首先以電子束蒸鍍機沉積鈦(Ti)薄膜在矽晶圓表面,鈦(Ti)薄膜於不相同沉積速率…
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    不同硼含量對鈦鋯硼氮薄膜的微結構及機械性質之影響
    • 機械工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 賴文祥 指導教授: 王朝正
    • 據不少文獻指出,硼的添加可有效形成奈米複合結構,現今已不少研究朝奈米複合結構方向發展。本研究中,利用雙靶共濺鍍方式方式鍍製具有不同硼含量之鈦鋯硼氮薄膜,分別為控制鈦及二硼化鋯靶材鍍製富含鈦之鈦鋯硼氮…
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