檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="多電子束微影" and ckeyword.raw="實體設計"
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多電子束微影 (Multiple E-beam Lithography) 作為最有希望的次世代微影技術(Next Generation Lithography),可用來解決傳統電子束的低產量問題。在…