檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="嚴格耦合波理論分析" and ckeyword.raw="嚴格耦合波理論分析"
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在半導體奈米量測自動化設備中,光學散射量測儀被視為取代傳統電子顯微鏡擷取微影圖案關鍵尺寸的重要技術,光學散射量測法的優點包含:量測速度快約為現有電子顯微鏡的三倍,可重複性量測同一微影圖案之關鍵尺寸,…