檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="單步深蝕刻技術" and ckeyword.raw="太陽能電池"
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本論文著重於全像光子晶體結構之分析、實現、光學特性與應用。在結構分析方面,使用全像術實現橢圓形光子晶體可以簡化製程步驟且相對於圓形光子晶體而言有著較寬的製程容忍度,進而提升製程良率並降低製作成本。此…