檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="品質管理" and ckeyword.raw="機台即時缺陷偵測分類系統"
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在半導體製造的生產流程上,即時的品質量測和檢測在管制及改善良率上扮演著日趨重要的角色,特別是在先進的12吋晶圓廠上。因此在製程上,晶片層級的量測方法和缺陷檢測是急待突破的兩塊領域。本文針對量測問題提…