檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="半導體微影製成" and ckeyword.raw="穀氨酸"
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本研究利用半導體加工製程技術製備微電極陣列感測探針,製程的部分共分成為三個階段,第一階段為金屬圖案之定義,使金屬導線,封裝端與電極端的圖案成形。第二階段為探針導線區域絕緣,對整片晶圓沉積介電層後,運…