檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學機械拋光" and ckeyword.raw="除料製程"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本文旨在應用灰色理論、田口實驗方法與製程統計分析等之理論於記憶體模組除料製程之品質改善與化學機械拋光參數分析。 本文首先使用變異數分析與灰關聯理論分析,探討田口實驗計劃法之CMP實驗數據:如拋光正向…