檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="動力研究" and ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沉積"
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本研究以有機金屬化合物CuII(OCHMeCH2NEt2)2為先驅物的化學氣相沈積系統探討金屬銅薄膜的材料分析。藉由調整沈積溫度及沈積時間,探討成長出高純度且具有良好之平坦度、緻密性、連續性及低電阻…