檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="動力" and ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沉積"
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本研究以先驅物(hfac)CuI(COD)在不同的TaNx阻障層上,利用化學氣相沉積法(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)進行沉積銅晶種層(Seed l…