檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="光輻射引致性能衰退效應" and ckeyword.raw="結晶度"
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本研究是採用射頻磁控濺鍍法於康寧玻璃型號1737 基板沉積微晶矽鍺薄膜,使用的靶材為鍺錠貼附於矽靶上並控制鍺元素原子比20 % 來共鍍沉積,在沉積過程中加熱基板至150oC,並控制不同的氫氣與氬氣的…