檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="光模轉換" and ckeyword.raw="擴散限制蝕刻"
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在此篇論文中,利用擴散限制蝕刻技術,來蝕刻出垂直漸變式波導。我們以變化各種不同的間隙寬度以及遮罩寬度,可以得到不同的蝕刻速率,因此最後固定間隙寬度在20 μm,變化其遮罩寬度,可以得到線性,且最大相…