檢索結果:共3筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="光柵" and ckeyword.raw="雷射光學尺"
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本研究提出一套創新的六自由度聚焦式雷射光學尺量測技術,其系統架構簡單,架設與校正容易,可用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套量測技術的開發主要是以「光柵干涉術」為技術核心,輔以外差調制技術及自行設計…
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺,用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發,使系統具…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統,用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…