檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="偏移加工" and ckeyword.raw="奈米級切削"
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本文應用加工固定切削深度之偏移加工法,進行單晶矽梯形凹槽之加工,其以每切削層在固定加工深度下進行一切削道次加工再向右偏移進行第二切削道次加工完成一偏移加工,如要擴充梯形凹槽的寬度,則可再向右偏移切削…
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本文應用分子靜力學三維準穩態奈米切削模式,進行模擬AFM探針切削單晶矽奈米流道梯形凹槽的偏移循環加工,除了可計算切削力、等效應力與等效應變外,亦可計算被切削單晶矽工件所提升之溫度;進而可進行被切削單…