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ckeyword.raw="低溫製程" and ckeyword.raw="矽晶表面碳化"
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矽晶基材的表面碳化轉化成碳化矽過程之研究
化學工程系
/110/ 碩士
研究生: 章筱瑜
指導教授:
洪儒生
點閱:271
下載:0
全文公開日期 2025/08/29 (校內網路)
全文公開日期 2027/08/29 (校外網路)
全文公開日期 2027/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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1
關鍵詞
乙炔
1
低溫製程
1
矽晶表面碳化
1
系所
化學工程系
1
指導教授
洪儒生
1
畢業學年度
110
1