檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="三圖樣微影技術" and ckeyword.raw="佈局分割"
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由於下一代微影技術的延遲,對於現今10 奈米的製程節點,多 圖樣微影技術仍然是突破微影極限的主要方案。在本篇論文中,我們 提出一個保證連通層可分解性之三圖樣微影感知的細部繞線器。在此 研究中,繞線器…