檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw=" 一維奈米材料" and ckeyword.raw=" 化學氣相沈積"
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本論文的主題分為三部分: (1)以矽甲烷、乙炔為反應物的冷壁式低壓化學氣相沈積法於矽(111)基板表面碳化改質並成長碳化矽異質磊晶的探討與評估 ; (2)以氣流引導式化學氣相沈積法(GSCVD)及有…