檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="閃頻"
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本研究提出一套創新的閃頻式晶圓翹曲量測技術,用以即時偵測有機金屬化學氣象沉積(MOCVD)製程中藍寶石晶圓之翹曲量及其輪廓。此套閃頻式晶圓翹曲量測技術以閃頻法、疊紋橫移理論、數位疊紋法、掃瞄輪廓法及…