檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="過渡流"
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由於微流道受到粗糙度的影響必定會對質量流率產生錯估,因此我們利用在微流道內建構不同高度的方形陣列結構來模擬表面粗糙度及障礙物。本實驗使用微機電製程技術在矽晶圓上製造出微流道、以氦氣為實驗氣體並在等溫…